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为电子制造场景提供高纯度、稳定流量的氮气解决方案。
在芯片制造的晶圆加工、组装以及SMT表面贴装焊接等工艺中,使用超高纯度的氮气可以创造出无氧的惰性环境,有效防止敏感材料在高温下发生氧化,这对提升产品良率和可靠性至关重要。
在薄膜沉积、蚀刻等核心工艺中,氮气被广泛用于设备腔体的吹扫和稀释。它能够快速带走工艺残留物和副产物,保持腔体洁净,同时作为稀释气体精确控制反应浓度。
氮气还用于工作台面和晶圆载具的清洁吹扫,利用其高压气流去除颗粒污染物,且自身不留下任何残留物。
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